株式会社東京精密

SURFCOM 2800G(S1400G+C2600G)

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メーカー 株式会社東京精密
分類 表面粗さ・輪郭形状測定機
製品名 SURFCOM 2800G(S1400G+C2600G)
測定機能
粗さ, 輪郭(複合機)
検出器センシングタイプ
粗さアナログ, 輪郭デジタル
検出器ストローク
Z : 粗さ:800μm<br> 輪郭:50mm
輪郭検出器の指示精度
Z : 輪郭:±(0.8|4H|/100)μm
検出器分解能
Z : 粗さ:0.4nm~10nm(0.1nm)<br> 輪郭:0.025μm
駆動部真直度精度
X : 粗さ:(0.05+1.5L/1000)μm<br> 輪郭:1μm/100mm(2μm/200mm)
輸出貿易管理令該非判定
非該当
備考
・H:測定高さ(mm)、L:測定長さ(mm)です。
・検出器分解能の、粗さ:0.4nm~10nm(0.1nm)は高倍率ピックアップ使用時です。
メーカーHP
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