| メーカー | 本多電子株式会社 |
| 分類 | 超音波洗浄機 |
| 製品名 | 石英振動体型洗浄機【高周波】 W-357-1MQG-SKC |
特長 | ●微細化パターンのウェーハを低ダメージで洗浄
●石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄
石英振動体から薬液を通じて半導体ウェーハに超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。
●半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄を実現
薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。
●振動子冷却機能付きのため、振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能
また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命に。 |
用途 | ●レジスト残渣除去
●エッジング後、アッシング後のポリマー除去
●Gate電極洗浄
●CMP後の洗浄 |
発振方式 | 単周波発振 |
駆動源 | AC100V～240V 単相 50/60Hz 300VA |
定格出力 (W) | 12 |
公称発振周波数(MHz)
| 1 |
本体寸法 (mm) |
W : 180
D : 250
H : 100
|
重量 (kg) | 2.2 |
外部駆動用接点の定格
| 超音波発振制御(制御側)接点入力：DC12V 16mA以上
警報用出力(本器)接点容量：DC24V 0.5A |
付属品 | 電源コード(AC100Ｖ/2m 又は AC200V/2.4mから選択)、制御コード(5m)×4 |
出力可変範囲
| 0W～12W(振動体の許容入力：振動子冷却のエアパージ使用時は連続10W) |
使用周囲環境(温度)
(℃) | 15～35 |
使用周囲環境(湿度)
(％) | 10～85 |
振動体仕様 | 流量：指定なし
全長：159mm
チャック部寸法：φ24mm
照射面積：24cm2
質量：600g
使用液温度範囲：20～50℃
振動子：PZT
材質：振動体：石英ガラス、パッキン：シリコーンゴム、ケース：PCTFE
コード長：出力コード1.5m+中継コード3.5m
エアパージ用継手：適合チューブ(外径φ6) |
備考 | ・本体寸法は突起部は除き、ゴム足を含みます。
・2MHz、3MHzも特注仕様にて対応いたします。 |
| メーカーHP | |
