レニショー株式会社

XM-60 マルチアクシスキャリブレータ

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メーカー レニショー株式会社
分類 マルチキャリブレータ
製品名 XM-60 マルチアクシスキャリブレータ
寸法(W×D×H)
(mm)
レーザーユニット:320×122×193
ラウンチユニット:125.5×124.1×86
レシーバ:161.2×82×82
重量 (kg)
レーザーユニット:3.7
ラウンチユニット:1.9
レシーバ:0.6
ケースに収納したXM-60システム一式:23 (XC-80 環境補正ユニットは除く)
電源
DC24V 2.5A 60W
システム計測機能
位置決め, 真直度, 角度 (ピッチ/ヨー), ロール
精度
・位置決め:±0.5ppm (環境補正実施時)
・真直度:±0.01A±1µm
     ±0.01A±1.5µm
・角度:±0.004A± (0.5µrad +0.11Mµrad)
・ロール:0~4m: ±0.01A±6.3µrad
     4~6m: ±0.01A±10.0µrad
範囲
・位置決め:0m~8m
・真直度:±50µm
     ±250µm
・角度:±500µrad
・ロール:±500µrad
分解能
・位置決め:1nm
・真直度:0.25µm
・角度:0.03µrad
・ロール:0.12µrad
レーザー出力
1.0mw CW
インターフェース
USB (別途インターフェース不要)
メーカーHP