メーカー | レニショー株式会社 |
分類 | マルチキャリブレータ |
製品名 | XM-60 マルチアクシスキャリブレータ |
寸法(W×D×H) (mm) | レーザーユニット:320×122×193
ラウンチユニット:125.5×124.1×86
レシーバ:161.2×82×82 |
重量 (kg) | レーザーユニット:3.7
ラウンチユニット:1.9
レシーバ:0.6
ケースに収納したXM-60システム一式:23 (XC-80 環境補正ユニットは除く) |
電源 | DC24V 2.5A 60W |
システム計測機能 | 位置決め, 真直度, 角度 (ピッチ/ヨー), ロール |
精度 | ・位置決め:±0.5ppm (環境補正実施時)
・真直度:±0.01A±1µm
±0.01A±1.5µm
・角度:±0.004A± (0.5µrad +0.11Mµrad)
・ロール:0~4m: ±0.01A±6.3µrad
4~6m: ±0.01A±10.0µrad |
範囲 | ・位置決め:0m~8m
・真直度:±50µm
±250µm
・角度:±500µrad
・ロール:±500µrad |
分解能 | ・位置決め:1nm
・真直度:0.25µm
・角度:0.03µrad
・ロール:0.12µrad |
レーザー出力 | 1.0mw CW |
インターフェース | USB (別途インターフェース不要) |
メーカーHP | |