| メーカー | 本多電子株式会社 |
| 分類 | 流量計 |
| 製品名 | 超音波流量計・変換器 HLF810 |
特長 | ●超音波を利用して、流体の流速を計測(変換器)し、流速から流量を計算(検出器)します。
●DSP(Digital Signal Processor)を搭載、独自の信号演算により、安定した計測を実現
●1台の変換器で異なるサイズの検出器を2台接続可能
●表示部にはＶＦD表示を採用
●高温薬液の流量計測に対応
●脱着可能なケーブルを採用。配線作業が容易
●RS-485通信によってPCでの遠隔監視が可能 |
用途 | ●半導体プロセスの純水・超純水の流量測定
●腐蝕性の高い薬液塗布などの各種薬液処理プロセスの流量管理
●CMP（Chemical Mechanical Polishing)スラリー液の流量測定 |
計測方式 | 超音波伝播時間差方式 |
データ更新周期
| 0.01秒 |
電圧 | DC24V±10%(21.6～26.4V) |
消費電力 | 約4W |
デジタル入力
| オープンコレクタ入力または無電圧接点入力 2点
積算値リセット、0点調整から選択 |
4-20mA電流出力
| 2点
分解能：12bit(最大負荷抵抗：600Ω） |
デジタル出力
| オープンコレクタ出力(MAX35V/0.1A)2点
比較、積算パルス、瞬時周波数、エラー出力から選択 |
インターフェース
| RS-485(MODBUSプロトコル、RTUモード)
32台連結可能(アドレスは1～32)
通信速度：9600、19200、38400、57600bps |
ケース材質 | ABS |
使用周囲温度
(℃) | 0～50(結露なきこと) |
質量(g) | 130 |
取付方法 | DINレール |
変換器・検出器接続ケーブル
| HLFS01ケーブル5m(150g), HLFS01ケーブル7m(210g), 材質：ETFE |
備考 | ・こちらの製品はHLF800シリーズ【超音波流量計・検出器】(HLFS01-04, HLFS01-06, HLFS01-08, HLFS01-12, HLFS01-16)と組み合わせてご使用ください。 |
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