| メーカー | 本多電子株式会社 |
| 分類 | 流量計 |
| 製品名 | 超音波流量計・検出器 HLFS01-16 |
特長 | ●超音波を利用して、流体の流速を計測(変換器)し、流速から流量を計算(検出器)します。
●DSP(Digital Signal Processor)を搭載、独自の信号演算により、安定した計測を実現
●1台の変換器で異なるサイズの検出器を2台接続可能
●表示部にはＶＦD表示を採用
●高温薬液の流量計測に対応
●脱着可能なケーブルを採用。配線作業が容易
●RS-485通信によってPCでの遠隔監視が可能 |
用途 | ●半導体プロセスの純水・超純水の流量測定
●腐蝕性の高い薬液塗布などの各種薬液処理プロセスの流量管理
●CMP（Chemical Mechanical Polishing)スラリー液の流量測定 |
測定対象 | 超純水, 純水, 薬液 |
測定流量範囲
(L/min) | 0～80 |
接続チューブサイズ
| 1” |
計測流量 | 0～20L/min未満, 20～80L/min |
流量精度 | ±200mL/min, ±1% R.D. |
耐圧力 | 0.5MPa(0～90℃), 0.2MPa(90～200℃) |
流体温度(高温)
(℃) | 0～200 |
接液部材質 | NEW PFA |
使用周囲温度
(℃) | 0～80 |
質量(g) | 220 |
変換器・検出器接続ケーブル
| HLFS01ケーブル5m(150g), HLFS01ケーブル7m(210g), 材質：ETFE |
固有損失係数
| 0.0033 |
備考 | ・こちらの製品はHLF800シリーズ【超音波流量計・変換器】(HLF810, HLF820)と組み合わせてご使用ください。
・計測流量が0～20L/min未満の時、流量精度は±200mL/minです。
・計測流量が20～80L/minの時、流量精度は±1% R.D.です。 |
| メーカーHP | |
