株式会社ダイヘン

EG-303

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハアライナ
製品名	EG-303
適用ウエハサイズ (mm)	300
繰返し位置精度(XY)	-0.05～0.05ｍｍ, -0.2～0.2ｍｍ
繰返し位置精度(θ)	-0.075～0.075°, -0.1~0.1°
アライメント時間 (sec)	3.5, 7.5
クリーン度	ISO Class 3 (ISO-14644）
本体質量 (kg)	7
必要諸元電源	24 VDC 3A
設置環境温度 (℃)	0～40
設置環境湿度 (％)	0～70
備考	・繰返し位置精度(XY)の-0.05～0.05ｍｍは高精細モードの値です。・繰返し位置精度(θ)の-0.075～0.075°は高精細モードの値です。・アライメント時間は平均の数値です。・アライメント時間の7.5secは高精細モードの値です。
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