株式会社ダイヘン

OFH-4100

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハアライナ
製品名	OFH-4100
適用ウエハサイズ (mm)	200～300
繰返し位置精度(XY)	-0.1～0.1ｍｍ
繰返し位置精度(θ)	-0.2～0.2°
アライメント時間 (sec)	1.8, 2.5
クリーン度	ISO Class 3 (ISO-14644）
本体質量 (kg)	8
必要諸元真空	-80KPag以下, 10NL/min
必要諸元電源	24 VDC 3A
設置環境温度 (℃)	15～25
設置環境湿度 (％)	0～60
備考	・石英ウエハ対応品としてOFH-4100Qシリーズがあります。詳細はお問い合わせください。・50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5secです。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
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