自動化・ロボット
円筒座標形ロボット類
ウエハアライナ
OFH-4100
株式会社ダイヘン
OFH-4100
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メーカー
株式会社ダイヘン
分類
ウエハアライナ
製品名
OFH-4100
適用ウエハサイズ
(mm)
200~300
繰返し位置精度(XY)
-0.1~0.1mm
繰返し位置精度(θ)
-0.2~0.2°
アライメント時間
(sec)
1.8, 2.5
クリーン度
ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量
(kg)
8
必要諸元 真空
-80KPag以下, 10NL/min
必要諸元 電源
24 VDC 3A
設置環境 温度
(℃)
15~25
設置環境 湿度
(%)
0~60
備考
・石英ウエハ対応品としてOFH-4100Qシリーズがあります。詳細はお問い合わせください。
・50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5secです。
・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP
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