株式会社ダイヘン

OFH-4103

お気に入りに追加
メーカー 株式会社ダイヘン
分類 ウエハアライナ
製品名 OFH-4103
適用ウエハサイズ
(mm)
50~150
繰返し位置精度(XY)
-0.1~0.1mm
繰返し位置精度(θ)
-0.2~0.2°
アライメント時間
(sec)
1.8, 2.5
クリーン度
ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 (kg)
8
必要諸元 真空
-80KPag以下, 10NL/min
必要諸元 電源
24 VDC 3A
設置環境 温度
(℃)
15~25
設置環境 湿度
(%)
0~60
備考
・石英ウエハ対応品としてOFH-4100Qシリーズがあります。詳細はお問い合わせください。
・50mmウエハの場合、アライメント時間は2.5secです。
・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP
こちらの製品も見られています
株式会社ダイヘン
OFH-4102
株式会社ダイヘン
OFH-4100
株式会社ダイヘン
OFH-4101
株式会社ダイヘン
EG-303