株式会社ミツトヨ

LEGEX9106

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メーカー 株式会社ミツトヨ
分類 三次元測定機
製品名 LEGEX9106
特長
●高精度測定モデル
●LEGEXシリーズは、誤差要因を徹底的に分析、排除した、世界最高クラスの精度を誇る超高精度CNC三次元測定機です。
●本体ベース部は、素材を厳選し、高剛性、高減衰性を実現するため密閉化構造を採用しています。さらに、FEM構造解析シミュレーションを用いた応力分析を徹底的に行い、荷重変動などによる変形を最小限にした幾何学運動精度を保証します。その他にも駆動部の構造、振動対策など、超高精度を実現するため数々の技術を投入しております。
●位置検出用の測長ユニットには、熱膨張係数≒0の超高精度結晶化ガラススケールと高分解能の高性能反射形リニアエンコーダの組み合わせによる、超高精度測長ユニット(自社製)が搭載され、極めて高い位置検出能力を有し、超高精度機制御を可能にしています。
●超高精度機の設置環境は、恒温室クラスが必要でしたが、温度補正機能により、幅広い温度環境下での精度保証を可能にしています。
●幅広いワークを簡単かつ超高精度な測定サポートをするために、プローブ(接触形、非接触形)、データ処理装置をはじめ数々のオプションをご用意しております。
測定範囲 (mm)
X : 900 Y : 1000 Z : 600
最大合成速度(CNC mode)
(mm/sec)
200
最大合成加速度
(mm/s2)
980
最小表示(mm)
0.00001
最大許容長さ測定誤差
(μm)
E0, MPE=0.28+L/1000(MPP310Q使用時)
E0, MPE=0.38+L/1000(SP25M/SP80使用時)
L=任意測定長(単位:mm)
案内方式
エアベアリング
測長ユニット
リニアエンコーダ
最大高さ (mm)
850
最大積載質量
(kg)
800
本体使用空気圧
(MPa)
0.5
空気源空気消費量
(NL/min)
120(空気源:160以上)
測定テーブル材質
鋳鉄
測定テーブル載物面大きさ
(mm)
950×1050
測定物固定方法
(mm)
M8×1.25
機械重量 (kg)
6500
備考
・機械重量は除振台・コントローラを含みます。
・商品の最新の在庫状況・納期は、お取引のある商社様または弊社営業所にご確認ください。
・商品画像はイメージです。実際の商品とは異なる場合がございます。商品詳細は仕様を必ずご確認ください。
メーカーHP
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