| メーカー | 株式会社ミツトヨ |
| 分類 | 非接触式三次元画像測定機 |
| 製品名 | 微細形状スキャニングプローブ搭載画像測定機 MiSCAN Vision System MVS-X404P1L-D |
特長 | ●画像測定ヘッドとスキャニングプローブ（MPP-NANO、SP25M）を搭載した理想的なハイブリッド機です。目視による測定が難しい狭小部位でも画像ヘッドで正確な位置決めを行い、狙い込み測定が可能です。
●MPP-NANOスタイラス用観察ユニットをオプションに設定しました。ø0.125ｍｍの極小スタイラスでもモニターで確認しながら測定位置にアプローチ可能なため安心して操作ができます。
●マグネット方式によるキネマティックジョイントの採用により、異なるスタイラスへの交換が容易に行えます。 スタイラス交換工具（MPP-NANOスタイラスツールセット）を標準装備。 |
測定範囲 (mm) |
X : 400
Y : 400
Z : 250
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最小表示 (μm) | 0.1 |
WLI画像共通測定範囲
(mm) | 275×400×250 |
測定精度(E1XY軸)
(μm) | (1.5+3L/1000) |
測定精度(E1Z軸)
(μm) | (1.5+4L/1000) |
測定精度(E2XY平面)
(μm) | (2.0+4L/1000) |
最大積載質量
(kg) | 40 |
精度保証環境(環境温度)
(℃) | 18～23 |
精度保証環境(温度変化 日)
(℃/day) | 1 |
精度保証環境(環境温度 時間)
(℃/hour) | 0.5/1, 1/24 |
精度保証環境(振動条件)振動数10Hz以下
(μm) | 最大振幅≦2 |
精度保証環境(振動条件)振動数10Hz超
(m/s2) | 最大加速度≦0.004 |
測長ユニット
| リニアエンコーダ |
カメラ | CCD白黒カメラ |
観察装置 | パワータレット(1x-2x-6x) |
照明タイプ | 垂直落射照明：白色LED
透過照明：白色LED
リング照明：白色LED |
温度補正機能
| 自動温度補正 |
使用空気圧 (MPa) | 0.4(空気源元圧は0.5～0.9MPaが必要)(プローブ上下駆動用) |
電圧 | AC100～240V±10％(50/60Hz) |
載物ガラス寸法
(mm) | 493×551 |
床面サイズ (mm) |
W : 1407
D : 1027
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機械サイズ (mm) |
H : 1778
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機械重量 (kg) | 579 |
ガイド方式 | 直動式ハードベアリング |
駆動方式 | DCサーボモータとボールネジによる駆動(速度・位置フィードパック方式) |
基本構造 | 固定ブリッジYテーブル移動構造 |
スケール膨張係数(×10^-6/K)
| 8±1 |
動作保証温度
(℃) | 10～35(ただし、結露なきこと) |
PH6Mプローブヘッド部
| 昇降装置付き(退避量: 35 mm) |
推奨湿度条件
(％) | 55～65 |
音圧レベル (dB) | 79.5(A) |
| メーカーHP | |
