| メーカー | 株式会社ミツトヨ |
| 分類 | 非接触式三次元画像測定機 |
| 製品名 | 微細形状測定システム UMAP Vision System UVS2-U404P1L-E |
特長 | ●最小径15µmのスタイラスにより、微細領域の接触測定が可能です。
●最小1µN（UMAP103）の超低測定力により、変形しやすいワークでも測定が可能です。
●スタイラス径の異なるUMAPを最大3種類まで組み合わせ可能。脱着交換はお客様自身で行えます。
●UMAPでの接触測定と画像方式による非接触測定を1台で実現。目視困難な部分でも、画像モードで位置決めを行い、その後UMAPによる狙いこみ測定が可能です。
●高NAと低ディストーションの高性能対物レンズと新光学系の採用により、高いエッジ検出能力を発揮します。
●基準となる測長系には、線膨張係数（0±0.02）×10⁻⁶Kの低膨張ガラススケールを採用し、温度変化によるスケールの伸縮を最小限に抑えています。 |
測定範囲 (mm) |
X : 360, 400
Y : 400
Z : 200
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UMAP画像共通測定範囲
(mm) | 285×400×175 |
測定精度(E1XY軸)
(μm) | (1.5+3L/1000) |
測定精度(E2XY平面)
(μm) | (2.0+4L/1000) |
測定精度(EUX/EUY,MPE)
(μm) | (0.35+1.3L/1000) |
測定精度(EUXY,MPE)
(μm) | (0.5+2L/1000) |
測定精度(EUZ,MPE)
(μm) | (1.5+2L/1000) |
最大積載質量
(kg) | 40 |
精度保証環境(環境温度 時間)
(℃/hour) | 0.5/1, 1/24 |
精度保証環境(光学条件)
| 5倍対物レンズ(QV-5xまたはQV-HR5x)、および中倍チューブレンズ使用時 |
観察装置 | プログラム制御パワーターレット 1x, 2x, 6x, (デジタル変倍12x)系 |
照明タイプ | 垂直落射照明：白色LED
透過照明：白色LED
リング照明：白色LED |
温度補正機能
| 自動温度補正 |
撮像素子 | B&W CMOSデジタルカメラ |
使用空気圧 (MPa) | 0.4 |
必要空気流量
( L/min) | 300(ANR) |
繰返し精度 (μm) | σ≦0.08(UMAP101, 103, 107), σ≦0.12(UMAP110, 130) |
画面内繰り返し精度
(μm) | 3σ≦0.2 |
載物ガラス寸法
(mm) | 493×551 |
床面サイズ (mm) |
W : 1736
D : 1172
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機械サイズ (mm) |
H : 1910
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機械重量 (kg) | 2185 |
オプション | 2160 |
備考 | ・測定精度(E1X, E1Y)の(1.5+3 L/1000)μmはオプションです。
・測定精度(E2XY)の(2.0+4 L/1000)μmはオプションです。
・等価照明を使用した場合の有効測定範囲は360×400×200mmです。
・本体寸法は突起部を除きます。
・機械重量は設置台を含みます。設置台を除いた機械重量は2160kgです。 |
| メーカーHP | |
