超音波洗浄機
WDX-600-Ⅱ , 370x250x250 , 23 , AC200V , 600
超音波洗浄機
WG-1200-28 , 500x300x224 , 35 , AC200V , 1200
超音波洗浄機
WG-1200-40 , 500x300x224 , 35 , AC200V , 1200
超音波洗浄機
WDX-1200-I , 500x300x250 , 35 , AC200V , 1200
超音波洗浄機
W-357BM-1200 , 1200 , 1 , 272×154 , 355x245x68
超音波洗浄機
W-357BM-1200 , 442x276x252 , 1200 , 1 , 135×160 2ヶ所
超音波洗浄機
W-357BM-600 , 600 , 1 , 135×160 , 250x220x68
超音波洗浄機
W-357BM-600 , 248x236x252 , 600 , 1 , 135×160
超音波洗浄機
1本 , 60 , 28 , 80 , 6.5m以下
超音波洗浄機
1本 , 60 , 28 , 100 , 6.5m以下
本多電子株式会社
流水式超音波洗浄機【高周波ポイントタイプ】 W-357-04PG
超音波洗浄機
●パーティクルの除去サイズが幅広く様々な精密洗浄が期待できます。
●水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振
出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
●出力監視
RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 80 , 400
超音波洗浄機
●パーティクルの除去サイズが幅広く様々な精密洗浄が期待できます。
●水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振
出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
●出力監視
RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 80 , 400
本多電子株式会社
流水式超音波洗浄機【高周波ポイントタイプ】 W-357-1.5MPG
超音波洗浄機
●1.5MHzの高周波で微細なパーティクルを除去します。
●水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振
出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
●出力監視
RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 40 , 1.5
超音波洗浄機
●1.5MHzの高周波で微細なパーティクルを除去します。
●水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振
出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
●出力監視
RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 40 , 1.5
本多電子株式会社
流水式超音波洗浄機【高周波ポイントタイプ】 W-357-1MPG
超音波洗浄機
●定電力デジタル発振器採用のパルスジェット洗浄機
●水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振
振動子の駆動周波数は、振動子の電圧・電流の位相を一定にするよう追従します。出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
●ノズル交換時の発振器の調整が不要
同一仕様のノズルとケーブルに交換する場合、発振器との調整が不要でメンテナンスが容易です。
●出力監視
RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 40 , 1
超音波洗浄機
●定電力デジタル発振器採用のパルスジェット洗浄機
●水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振
振動子の駆動周波数は、振動子の電圧・電流の位相を一定にするよう追従します。出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
●ノズル交換時の発振器の調整が不要
同一仕様のノズルとケーブルに交換する場合、発振器との調整が不要でメンテナンスが容易です。
●出力監視
RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 40 , 1
本多電子株式会社
流水式超音波洗浄機【高周波ポイントタイプ】 W-357-3MPG
超音波洗浄機
●3MHzの採用でさらに細かいパーティクルを除去し、しかもダメージを抑えます。
●水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振
出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
●出力監視
RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 40 , 3
超音波洗浄機
●3MHzの採用でさらに細かいパーティクルを除去し、しかもダメージを抑えます。
●水温・周囲温度の変化に対応し、安定した超音波を発振
出力は、振動子への供給するエネルギーを一定にするため定電力で制御しています。周波数の追従と定電力制御が協調することにより、振動子からの超音波発振を安定化するとともに、発振器の損失を抑えます。
●出力監視
RS422Aに対応し、外部出力可変が可能です。電圧出力値を4-20mAでも出力します。 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 40 , 3
本多電子株式会社
流水式超音波洗浄機【高周波ラインタイプ】 W-357LM-180
超音波洗浄機
●180mmまでの液晶ガラスに対応
●ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません。
●出力電力を20~220Wまで調整できます。 , 単周波発振 , AC200~240V 単相50/60Hz 600VA , 3 , 220
超音波洗浄機
●180mmまでの液晶ガラスに対応
●ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません。
●出力電力を20~220Wまで調整できます。 , 単周波発振 , AC200~240V 単相50/60Hz 600VA , 3 , 220
本多電子株式会社
流水式超音波洗浄機【高周波ラインタイプ】 W-357LM-380
超音波洗浄機
●380mmまでの液晶ガラスに対応
●ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません。
●出力電力を30~330Wまで調整できます。 , 単周波発振 , AC200~240V 単相50/60Hz 750VA , 3 , 330
超音波洗浄機
●380mmまでの液晶ガラスに対応
●ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません。
●出力電力を30~330Wまで調整できます。 , 単周波発振 , AC200~240V 単相50/60Hz 750VA , 3 , 330
本多電子株式会社
流水式超音波洗浄機【高周波ラインタイプ】 W-357LM-580
超音波洗浄機
●580mmまでの液晶ガラスに対応
●ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません。
●出力電力を40~440Wまで調整できます。 , 単周波発振 , AC200~240V 単相50/60Hz 900VA , 3 , 440
超音波洗浄機
●580mmまでの液晶ガラスに対応
●ノズル部にPP(ポリプロピレン)を使用しているため、金属イオンの発生がほとんどありません。
●出力電力を40~440Wまで調整できます。 , 単周波発振 , AC200~240V 単相50/60Hz 900VA , 3 , 440
超音波洗浄機
●80mmまでの液晶ガラスに対応
●出力電力を10~110Wまで調整できます。 , 単周波発振 , AC200~240V 単相50/60Hz 300VA , 3 , 110
本多電子株式会社
石英振動体型洗浄機【高周波】 W-357-1MQG-SKC
超音波洗浄機
●微細化パターンのウェーハを低ダメージで洗浄
●石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄
石英振動体から薬液を通じて半導体ウェーハに超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。
●半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄を実現
薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。
●振動子冷却機能付きのため、振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能
また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命に。 , ●レジスト残渣除去
●エッジング後、アッシング後のポリマー除去
●Gate電極洗浄
●CMP後の洗浄 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 12
超音波洗浄機
●微細化パターンのウェーハを低ダメージで洗浄
●石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄
石英振動体から薬液を通じて半導体ウェーハに超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。
●半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄を実現
薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。
●振動子冷却機能付きのため、振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能
また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命に。 , ●レジスト残渣除去
●エッジング後、アッシング後のポリマー除去
●Gate電極洗浄
●CMP後の洗浄 , 単周波発振 , AC100V~240V 単相 50/60Hz 300VA , 12
本多電子株式会社
超音波洗浄機セパレート型発振器 WA-1200-28
超音波洗浄機
●通信機能の搭載で、日々の管理をサポート
●RS485通信(MODBUS RTU)により各種設定と動作状況の確認が可能
●デジタル制御方式による周波数自動追尾及び定電力出力により、液深・液温・液種・減圧・ワークなどの多様な負荷変動に対して、最適な周波数と安定した一定出力で超音波発振し、最適洗浄が可能
●4つの発振モードにより広範囲の汚れ・ワークに対応
●オートチューニング機能により同一仕様振動子ユニット交換時、発振器の調整が不要 , ●IC、トランジスタ、シリコンウェーハ、フォトマスク等の洗浄
●プリント基板、ハードディスク部品、液晶ガラス等の洗浄
●ピストン、燃料ポンプ、電装部品等の洗浄
※28kHzは頑固な汚れの強力洗浄に、40kHzは洗浄ムラやダメージが少ない精密洗浄に適しています。
, 近接2周波切替発振(DUAL) , AC200V , 3.5
超音波洗浄機
●通信機能の搭載で、日々の管理をサポート
●RS485通信(MODBUS RTU)により各種設定と動作状況の確認が可能
●デジタル制御方式による周波数自動追尾及び定電力出力により、液深・液温・液種・減圧・ワークなどの多様な負荷変動に対して、最適な周波数と安定した一定出力で超音波発振し、最適洗浄が可能
●4つの発振モードにより広範囲の汚れ・ワークに対応
●オートチューニング機能により同一仕様振動子ユニット交換時、発振器の調整が不要 , ●IC、トランジスタ、シリコンウェーハ、フォトマスク等の洗浄
●プリント基板、ハードディスク部品、液晶ガラス等の洗浄
●ピストン、燃料ポンプ、電装部品等の洗浄
※28kHzは頑固な汚れの強力洗浄に、40kHzは洗浄ムラやダメージが少ない精密洗浄に適しています。
, 近接2周波切替発振(DUAL) , AC200V , 3.5