株式会社ダイヘン

UT-AFW4010NM Long Arm Type(大気環境用)

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハ搬送ロボット
製品名	UT-AFW4010NM Long Arm Type(大気環境用)
ロボット形状	4軸円筒座標型
動作範囲(X1,X2) (mm)	770
動作範囲(θ) (°)	340
動作範囲(Z) (mm)	300, 450
最大動作速度(X1,X2)(mm/sec)	1180
最大動作速度(θ) (°/sec)	200
最大動作速度(Z) (mm/sec)	250
動作時間(X1,X2)	1.7sec./770mm
動作時間(θ)	2.2sec./340°
動作時間(Z)	1.6sec./300mm
繰返し位置精度(X,Y,Z)	各-0.1～0.1mm
可搬質量 (kg)	1
クリーン度	クランプ仕様：ISO Class 3(ISO-14644), 吸着仕様：ISO Class 1(ISO-14644)
必要諸元真空	-80kPa, 10NL/min
設置環境温度 (℃)	0～40
設置環境湿度 (％)	0～70
備考	・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。・可搬質量は、約2N･mです。ハンドフォルダ、ハンド、ワーク質量を含みます。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP

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