自動化・ロボット
円筒座標形ロボット類
ウエハ搬送ロボット
UTM-R3700F(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UTM-R3700F(大気環境用)
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メーカー
株式会社ダイヘン
分類
ウエハ搬送ロボット
製品名
UTM-R3700F(大気環境用)
ロボット形状
6軸垂直多関節型
動作範囲(X)
(mm)
590
動作範囲(θ)
(°)
332
動作範囲(Z)
(mm)
310~703.8
動作範囲(Y)
(mm)
-767.5~767.5
最大動作速度(X,A)
(mm/sec)
1600
最大動作速度(θ)
(°/sec)
540
最大動作速度(Z)
(mm/sec)
1500
最大動作速度(Y)
(mm/sec)
1500
動作時間(X,A)
0.9sec/590mm
動作時間(θ)
1.0sec/332
動作時間(Z)
0.8sec/7038mm
動作時間(Y)
1.4sec/1535mm
繰返し位置精度(X,θ,Y)
-0.1~0.1mm
繰返し位置精度(Z)
-0.1~0.1mm
可搬質量
(kg)
0.5
クリーン度
クランプ仕様:ISO Class 3(ISO-14644), 吸着仕様:ISO Class 1(ISO-14644)
本体質量
(kg)
74
必要諸元 圧空
0.3MPaG以上
必要諸元 真空
-80kPAG以下, 10NL/min
必要諸元 電源
3相 AC[200~230V±10%], 50/60Hz
設置環境 温度
(℃)
0~40
設置環境 湿度
(%)
20~70
備考
・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
・動作時間は、各軸フルストロークするために要する時間です。(机上計算による理論値であり、保証値ではございません。)
・クリーン度は、ウエハ搬送面周辺の数値です。
・可搬質量は、ハンド質量を含みます。
・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
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