株式会社ダイヘン

UTM-R3700F(大気環境用)

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハ搬送ロボット
製品名	UTM-R3700F(大気環境用)
ロボット形状	6軸垂直多関節型
動作範囲(X) (mm)	590
動作範囲(θ) (°)	332
動作範囲(Z) (mm)	310～703.8
動作範囲(Y) (mm)	-767.5～767.5
最大動作速度(X,A) (mm/sec)	1600
最大動作速度(θ) (°/sec)	540
最大動作速度(Z) (mm/sec)	1500
最大動作速度(Y) (mm/sec)	1500
動作時間(X,A)	0.9sec/590mm
動作時間(θ)	1.0sec/332
動作時間(Z)	0.8sec/7038mm
動作時間(Y)	1.4sec/1535mm
繰返し位置精度(X,θ,Y)	-0.1～0.1ｍｍ
繰返し位置精度(Z)	-0.1～0.1ｍｍ
可搬質量 (kg)	0.5
クリーン度	クランプ仕様：ISO Class 3(ISO-14644), 吸着仕様：ISO Class 1(ISO-14644)
本体質量 (kg)	74
必要諸元圧空	0.3MPaG以上
必要諸元真空	-80kPAG以下, 10NL/min
必要諸元電源	3相 AC[200～230V±10％], 50/60Hz
設置環境温度 (℃)	0～40
設置環境湿度 (％)	20～70
備考	・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。・動作時間は、各軸フルストロークするために要する時間です。(机上計算による理論値であり、保証値ではございません。) ・クリーン度は、ウエハ搬送面周辺の数値です。・可搬質量は、ハンド質量を含みます。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
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