自動化・ロボット
円筒座標形ロボット類
ウエハ搬送ロボット
UT-VDW3000HS series(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UT-VDW3000HS series(真空環境用)
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メーカー
株式会社ダイヘン
分類
ウエハ搬送ロボット
製品名
UT-VDW3000HS series(真空環境用)
ロボット形状
4軸円筒座標型
動作範囲(X1,X2)
(mm)
620
動作範囲(θ)
(°)
346
動作範囲(Z)
(mm)
50
最大動作速度(X1,X2)(°/sec)
380
最大動作速度(θ)
(°/sec)
300
最大動作速度(Z)
(mm/sec)
185
動作時間(X1,X2)
0.6sec/620mm
動作時間(θ)
0.7sec/90°
動作時間(Z)
0.25sec/20mm
繰返し位置精度(X,Y,Z)
各-0.1~0.1mm(3σ)
可搬質量
(kg)
2
クリーン度
ISO Class 1
本体質量
(kg)
160
設置環境 温度
(℃)
5~40, 5~80
設置環境 湿度
(%)
20~70
設置環境 圧力
1~10^-6Pa
備考
・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
・繰返し位置精度(XYZ)は、当社の評価条件によります。
・可搬質量は、ハンドベース、ハンド、ウエハの合計質量です。
・設置環境の温度は、 5~40℃が本体温度、5~80℃がアーム温度です。
・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP
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