株式会社ダイヘン

UT-VDW3000HS series（真空環境用）

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハ搬送ロボット
製品名	UT-VDW3000HS series（真空環境用）
ロボット形状	4軸円筒座標型
動作範囲(X1,X2) (mm)	620
動作範囲(θ) (°)	346
動作範囲(Z) (mm)	50
最大動作速度(X1,X2)(°/sec)	380
最大動作速度(θ) (°/sec)	300
最大動作速度(Z) (mm/sec)	185
動作時間(X1,X2)	0.6sec/620mm
動作時間(θ)	0.7sec/90°
動作時間(Z)	0.25sec/20mm
繰返し位置精度(X,Y,Z)	各-0.1～0.1mm(3σ)
可搬質量 (kg)	2
クリーン度	ISO Class 1
本体質量 (kg)	160
設置環境温度 (℃)	5～40, 5～80
設置環境湿度 (％)	20～70
設置環境圧力	1～10^-6Pa
備考	・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。・繰返し位置精度(XYZ)は、当社の評価条件によります。・可搬質量は、ハンドベース、ハンド、ウエハの合計質量です。・設置環境の温度は、 5～40℃が本体温度、5～80℃がアーム温度です。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP

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