株式会社ダイヘン

UTX-RF5500RW(大気環境用)

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハ搬送ロボット
製品名	UTX-RF5500RW(大気環境用)
ロボット形状	3軸円筒座標型
動作範囲(X1,X2) (mm)	500
動作範囲(θ) (°)	340
動作範囲(Z) (mm)	300
動作範囲(R) (°)	180
最大動作速度(X1,X2)(mm/sec)	800
最大動作速度(θ) (°/sec)	130
最大動作速度(Z) (mm/sec)	200
最大動作速度(R) (°/sec)	150
動作時間(X1,X2)	1.6sec/500mm
動作時間(θ)	3.2sec/340°
動作時間(Z)	2.5sec/300mm
動作時間(R)	2.0sec/180°
繰返し位置精度(X,Y,Z)	各-0.1～0.1mm
可搬質量 (kg)	1.5
クリーン度	ISO Class 4 (ISO-14644)
本体質量 (kg)	32
必要諸元圧空	0.25～0.3MPaG(クランプ用), 0.05MPaG(結露防止・機内加圧用)
必要諸元電源	100～115±10％ VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境温度 (℃)	0～40
設置環境湿度 (％)	20～70
備考	・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。・可搬質量は、ハンド、ハンドベース質量を含みます。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP

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