自動化・ロボット
円筒座標形ロボット類
ウエハ搬送ロボット
UTX-RF5500RW(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UTX-RF5500RW(大気環境用)
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メーカー
株式会社ダイヘン
分類
ウエハ搬送ロボット
製品名
UTX-RF5500RW(大気環境用)
ロボット形状
3軸円筒座標型
動作範囲(X1,X2)
(mm)
500
動作範囲(θ)
(°)
340
動作範囲(Z)
(mm)
300
動作範囲(R)
(°)
180
最大動作速度(X1,X2)(mm/sec)
800
最大動作速度(θ)
(°/sec)
130
最大動作速度(Z)
(mm/sec)
200
最大動作速度(R)
(°/sec)
150
動作時間(X1,X2)
1.6sec/500mm
動作時間(θ)
3.2sec/340°
動作時間(Z)
2.5sec/300mm
動作時間(R)
2.0sec/180°
繰返し位置精度(X,Y,Z)
各-0.1~0.1mm
可搬質量
(kg)
1.5
クリーン度
ISO Class 4 (ISO-14644)
本体質量
(kg)
32
必要諸元 圧空
0.25~0.3MPaG(クランプ用), 0.05MPaG(結露防止・機内加圧用)
必要諸元 電源
100~115±10% VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境 温度
(℃)
0~40
設置環境 湿度
(%)
20~70
備考
・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
・可搬質量は、ハンド、ハンドベース質量を含みます。
・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP
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