株式会社ダイヘン

UT-VDX3000NS Standard Type（真空環境用）

お気に入りに追加

メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハ搬送ロボット
製品名	UT-VDX3000NS Standard Type（真空環境用）
ロボット形状	2軸円筒座標型
動作範囲(X) (mm)	850
動作範囲(θ) (°)	Endless
動作時間(X)	2.0sec / 850mm
動作時間(θ)	2.5sec / 180°
繰返し位置精度(XY)	φ0.02mm(3σ)
可搬質量 (kg)	1
クリーン度	ISO Class 1
本体質量 (kg)	29
設置環境温度 (℃)	5～40, 5～80
設置環境湿度 (％)	20～70
設置環境圧力	1～10^-7Pa
備考	・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。・繰返し位置精度(XY)は、当社の評価条件によります。・可搬質量は、ハンドベース、ハンド、ウエハの質量を含みます。・設置環境の温度は、 5～40℃が本体温度、5～80℃がアーム温度です。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP

こちらの製品も見られています

株式会社ダイヘン
UT-AFW4010NM Long Arm Type(大気環境用)

株式会社ダイヘン
UT-AFW3000NM(大気環境用)

株式会社ダイヘン
UT-AFX3000NM (大気環境用)

株式会社ダイヘン
UTW-RF5500RW(大気環境用)

株式会社ダイヘン
UTM-R3700F(大気環境用)