株式会社ダイヘン

UTW-REH5500(大気環境用)

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハ搬送ロボット
製品名	UTW-REH5500(大気環境用)
ロボット形状	4軸円筒座標形
動作範囲(X,A) (mm)	500
動作範囲(θ) (°)	340
動作範囲(Z) (mm)	300
最大動作速度(X,A) (mm/sec)	1800
最大動作速度(θ) (°/sec)	360
最大動作速度(Z) (mm/sec)	500
動作時間(X,A)	0.5sec/mm
動作時間(θ)	1.2sec/340°
動作時間(Z)	0.8sec/300mm
繰返し位置精度(X,Y,Z)	各-0.1～0.1mm
可搬質量 (kg)	0.5
クリーン度	ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 (kg)	32
必要諸元真空	-80kPag以下, 10NL/min
必要諸元電源	3相 200-230±10% VAC 16A
設置環境温度 (℃)	0～40
設置環境湿度 (％)	0～70
備考	・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。・可搬質量は、ハンド質量を含みます。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP

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