株式会社ダイヘン

UTVW-R2800H（真空環境用）

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハ搬送ロボット
製品名	UTVW-R2800H（真空環境用）
ロボット形状	4軸円筒座標形
動作範囲(X1,X2) (mm)	670
動作範囲(θ) (°)	330
動作範囲(Z) (mm)	50
最大動作速度(X1,X2)(°/sec)	120
最大動作速度(θ) (°/sec)	100
最大動作速度(Z) (mm/sec)	25
動作時間(X1,X2)	1.5sec/670mm
動作時間(θ)	2.4sec/180°
動作時間(Z)	1.6sec/50mm
繰返し位置精度(X,Y,Z)	各-0.1～0.1mm(3σ)
可搬質量 (kg)	2.5
クリーン度	ISO Class 3 (ISO-14644)
本体質量 (kg)	85
設置環境温度 (℃)	15～40, 15～80
設置環境湿度 (％)	20～70
設置環境圧力	1～10^-6Pa
備考	・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。・繰返し位置精度は、当社の評価条件によります。・可搬質量は、ハンドベース、ハンド、ウエハの合計質量です。・設置環境の温度は、 15～40℃が本体温度、15～80℃がアーム温度です。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP

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