自動化・ロボット
円筒座標形ロボット類
ウエハ搬送ロボット
UT-AFW3000NM(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UT-AFW3000NM(大気環境用)
お気に入りに追加
お問い合わせ
メーカー
株式会社ダイヘン
分類
ウエハ搬送ロボット
製品名
UT-AFW3000NM(大気環境用)
ロボット形状
4軸円筒座標型
動作範囲(X1,X2)
(mm)
500
動作範囲(θ)
(°)
340
動作範囲(Z)
(mm)
300, 450
最大動作速度(X1,X2)(mm/sec)
1000
最大動作速度(θ)
(°/sec)
200
最大動作速度(Z)
(mm/sec)
250
動作時間(X1,X2)
1.0sec/500mm
動作時間(θ)
2.2sec/340°
動作時間(Z)
1.5sec/300mm, 2.1sec/450mm
繰返し位置精度(X,Y,Z)
各-0.1~0.1mm
可搬質量
(kg)
1
クリーン度
ISO Class 1 (ISO-14644)
本体質量
(kg)
32
必要諸元 真空
-80kPaG以下, 10NL/min(機内排気用も同様)
必要諸元 電源
単相200~230±10% VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境 温度
(℃)
5~45
設置環境 湿度
(%)
20~70
備考
・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
・可搬質量は、ハンド質量を含みます。
・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP
お問い合わせ
こちらの製品も見られています
株式会社ダイヘン
UT-VFX3000NM Long Arm Type(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UTW-RF5500RW(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UTVW-R2800H(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UT-VDX3000NS Standard Type(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UT-AFW4000NM High Payload Type(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UT-AFX3000NM (大気環境用)
株式会社ダイヘン
UTX-RF5500RW(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UT-AFW4010NM Long Arm Type(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UT-VDW3000HS series(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UTM-R3700F(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UT-VFX3000NM Long Arm Type(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UTW-RF5500RW(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UTVW-R2800H(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UT-VDX3000NS Standard Type(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UT-AFW4000NM High Payload Type(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UT-AFX3000NM (大気環境用)
株式会社ダイヘン
UTX-RF5500RW(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UT-AFW4010NM Long Arm Type(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UT-VDW3000HS series(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UTM-R3700F(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UT-VFX3000NM Long Arm Type(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UTW-RF5500RW(大気環境用)
株式会社ダイヘン
UTVW-R2800H(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UT-VDX3000NS Standard Type(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UT-AFW4000NM High Payload Type(大気環境用)