自動化・ロボット
円筒座標形ロボット類
ウエハ搬送ロボット
UT-VFX3000NM Long Arm Type(真空環境用)
株式会社ダイヘン
UT-VFX3000NM Long Arm Type(真空環境用)
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メーカー
株式会社ダイヘン
分類
ウエハ搬送ロボット
製品名
UT-VFX3000NM Long Arm Type(真空環境用)
ロボット形状
2(3)軸円筒座標形
動作範囲(X1,X2)
(mm)
720
動作範囲(θ)
(°)
340
動作範囲(Z)
(mm)
20
最大動作速度(X1,X2)(mm/sec)
1339
最大動作速度(θ)
(°/sec)
200
最大動作速度(Z)
(mm/sec)
121
動作時間(X1,X2)
1.2sec./720mm
動作時間(θ)
2.4sec/340°
動作時間(Z)
1.0sec/20mm
繰返し位置精度(X,Y,Z)
各-0.1~0.1mm
可搬質量
(kg)
0.7
クリーン度
ISO Class 1 (ISO-14644)
本体質量
(kg)
29, 35
設置環境 温度
(℃)
10~40, 0~80
設置環境 湿度
(%)
20~70
設置環境 圧力
1~10^-6Pa
備考
・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。
・動作範囲(Z)、動作速度(Z)、動作時間(Z)、本体質量の35kgは、Z軸搭載タイプの数値です。
・可搬質量は、ハンド質量を含みます。
・設置環境の温度は、 10~40℃が本体温度、0~80℃がアーム温度です。
・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP
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