株式会社ダイヘン

UT-VFX3000NM Long Arm Type（真空環境用）

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハ搬送ロボット
製品名	UT-VFX3000NM Long Arm Type（真空環境用）
ロボット形状	2(3)軸円筒座標形
動作範囲(X1,X2) (mm)	720
動作範囲(θ) (°)	340
動作範囲(Z) (mm)	20
最大動作速度(X1,X2)(mm/sec)	1339
最大動作速度(θ) (°/sec)	200
最大動作速度(Z) (mm/sec)	121
動作時間(X1,X2)	1.2sec./720mm
動作時間(θ)	2.4sec/340°
動作時間(Z)	1.0sec/20mm
繰返し位置精度(X,Y,Z)	各-0.1～0.1mm
可搬質量 (kg)	0.7
クリーン度	ISO Class 1 (ISO-14644)
本体質量 (kg)	29, 35
設置環境温度 (℃)	10～40, 0～80
設置環境湿度 (％)	20~70
設置環境圧力	1～10^-6Pa
備考	・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。・動作範囲(Z)、動作速度(Z)、動作時間(Z)、本体質量の35kgは、Z軸搭載タイプの数値です。・可搬質量は、ハンド質量を含みます。・設置環境の温度は、 10～40℃が本体温度、0～80℃がアーム温度です。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP

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