株式会社ダイヘン

UT-AFX3000NM (大気環境用)

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メーカー	株式会社ダイヘン
分類	ウエハ搬送ロボット
製品名	UT-AFX3000NM (大気環境用)
ロボット形状	3軸円筒座標型
動作範囲(X1,X2) (mm)	500
動作範囲(θ) (°)	340
動作範囲(Z) (mm)	300, 450
最大動作速度(X1,X2)(mm/sec)	1000
最大動作速度(θ) (°/sec)	200
最大動作速度(Z) (mm/sec)	250
動作時間(X1,X2)	1.0sec/500mm
動作時間(θ)	2.2sec/340°
動作時間(Z)	1.5sec/300mm, 2.1sec/450mm
繰返し位置精度(X,Y,Z)	各-0.1～0.1mm
可搬質量 (kg)	1
クリーン度	ISO Class 1 (ISO-14644)
本体質量 (kg)	30
必要諸元真空	-80kPaG以下, 10NL/min(機内排気用も同様)
必要諸元電源	単相200～230±10% VAC, 50/60Hz, 5A
設置環境温度 (℃)	5～45
設置環境湿度 (％)	20～70
備考	・オプションを付加した場合の搬送性能は標準と異なります。・可搬質量は、ハンド質量を含みます。・設置環境の湿度は、結露しないことが条件です。
メーカーHP

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