株式会社ダイヘン
EG-303
ウエハアライナ
300 , -0.05~0.05mm , -0.075~0.075° , 3.5 , ISO Class 3 (ISO-14644)
ウエハアライナ
300 , -0.05~0.05mm , -0.075~0.075° , 3.5 , ISO Class 3 (ISO-14644)
株式会社ダイヘン
OFH-4100
ウエハアライナ
200~300 , -0.1~0.1mm , -0.2~0.2° , 1.8 , ISO Class 3 (ISO-14644)
ウエハアライナ
200~300 , -0.1~0.1mm , -0.2~0.2° , 1.8 , ISO Class 3 (ISO-14644)
株式会社ダイヘン
OFH-4101
ウエハアライナ
150~200 , -0.1~0.1mm , -0.2~0.2° , 1.8 , ISO Class 3 (ISO-14644)
ウエハアライナ
150~200 , -0.1~0.1mm , -0.2~0.2° , 1.8 , ISO Class 3 (ISO-14644)
株式会社ダイヘン
OFH-4102
ウエハアライナ
100~200 , -0.1~0.1mm , -0.2~0.2° , 1.8 , ISO Class 3 (ISO-14644)
ウエハアライナ
100~200 , -0.1~0.1mm , -0.2~0.2° , 1.8 , ISO Class 3 (ISO-14644)
株式会社ダイヘン
OFH-4103
ウエハアライナ
50~150 , -0.1~0.1mm , -0.2~0.2° , 1.8 , ISO Class 3 (ISO-14644)
ウエハアライナ
50~150 , -0.1~0.1mm , -0.2~0.2° , 1.8 , ISO Class 3 (ISO-14644)
フラットパネル搬送ロボット
4軸円筒座標型 , 1200 , 330 , 350 , 1618
フラットパネル搬送ロボット
5軸円筒座標型 , 1200 , 330 , 700 , 1618
ウエハ搬送ロボット
4軸円筒座標型 , 500 , 340 , 300 , 1000
ウエハ搬送ロボット
4軸円筒座標型 , 500 , 340 , 300 , 182
ウエハ搬送ロボット
4軸円筒座標型 , 770 , 340 , 300 , 1180
ウエハ搬送ロボット
3軸円筒座標型 , 500 , 340 , 300 , 1000
ウエハ搬送ロボット
4軸円筒座標型 , 620 , 346 , 50 , 380
ウエハ搬送ロボット
2軸円筒座標型 , 850 , Endless , 2.0sec / 850mm , 2.5sec / 180°
ウエハ搬送ロボット
2(3)軸円筒座標形 , 720 , 340 , 20 , 1339
ウエハ搬送ロボット
2(3)軸円筒座標形 , 510 , 340 , 20 , 948
ウエハ搬送ロボット
6軸垂直多関節型 , 590 , 332 , 310~703.8 , -767.5~767.5
ウエハ搬送ロボット
4軸円筒座標形 , 670 , 330 , 50 , 120
ウエハ搬送ロボット
4軸円筒座標形 , 500 , 340 , 300 , 1800
ウエハ搬送ロボット
4軸円筒座標型 , 500 , 340 , 300 , 180
ウエハ搬送ロボット
3軸円筒座標型 , 500 , 340 , 300 , 180